数据显示，9月3日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购5482.15万元，位居当日股票ETF净流入排名36/1314。最新规模88.28亿元，前一日规模88.71亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为0.62%。

近5日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购1.86亿元，位居股票ETF净流入排名第32/1314。近10日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购3.41亿元，位居股票ETF净流入排名第24/1314。近20日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购12.21亿元，位居股票ETF净流入排名第11/1314。

华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）成立于2023年10月9日，基金全称为华夏中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。

规模方面，截止9月3日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）最新份额为92.09亿份，最新规模为88.28亿元。回顾2025年12月31日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）份额为4.9亿份，规模为7.91亿元。即该基金今年以来份额增加1780.68%，规模增加1015.33%。

流动性方面，截止9月3日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）近20个交易日累计成交金额111.16亿元，日均成交金额5.56亿元；今年以来，163个交易日，累计成交金额700.44亿元，日均成交金额4.3亿元。

华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）现任基金经理为单宽之。单宽之自2024年6月11日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益215.43%。

最新定期报告显示，华夏基金（562590）重仓股包括中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、中科飞测、江丰电子、华峰测控、芯源微、沪硅产业，持仓占比如下：

跟踪半导体材料设备（931743）的ETF包括国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

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