1月10日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“聚焦环的检测装置、系统、方法及其等离子体处理装置”的专利，授权公告号CN115127457B，授权公告日为2026年1月9日。申请公布号为CN115127457A，申请号为CN202110318806.5，申请公布日期为2026年1月9日，申请日期为2021年3月25日，发明人史文博，专利代理机构上海元好知识产权代理有限公司，专利代理师徐雯琼、张静洁，分类号G01B11/06、G01B11/24、H01J37/32。

专利摘要显示，本发明涉及一种聚焦环的检测装置，包括：第一可调机构，放置于基座的承载面上方，可以沿垂直承载面的方向运动；反射结构，第一端与第一可调机构的上方连接，反射结构可绕其第一端旋转；且反射结构的反射平面与承载面成的锐角为第二角度；光源，设置于反射结构上方，用以向反射结构沿垂直承载面方向发射光线，光线可以被反射结构和聚焦环的内侧面反射；检测模块，设置于反射结构上方，用于接收经反射结构和聚焦环的内侧面反射后的反射光线。本发明在无需打开反应系统的前提下，利用光学探测的方法对聚焦环的高度及形状进行测量，通过远程连接控制反射结构的角度和高度变化，不破坏反应腔体的真空环境，操作简便，且方便快捷，提高了检测精度。

天眼查数据显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司成立日期2004年5月31日，法定代表人尹志尧，所属行业为专用设备制造业，企业规模为大型，注册资本62614.5307万人民币，实缴资本62236.3735万人民币，注册地址为上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号。中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目75次，财产线索方面有商标信息106条，专利信息1632条，拥有行政许可77个。

中微半导体设备（上海）股份有限公司近期专利情况如下：

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