1月24日消息，国家知识产权局信息显示，无锡卓海科技股份有限公司申请一项名为“一种薄膜厚度测量装置及方法”的专利。申请公布号为CN121383875A，申请号为CN202511758712.4，申请公布日期为2026年1月23日，申请日期为2025年11月27日，发明人李响、相宇阳、俞胜武，专利代理机构北京品源专利代理有限公司，专利代理师严慧，分类号G01B11/06、G01N21/41、G01N21/55。

专利摘要显示，本发明公开了一种薄膜厚度测量装置及方法。薄膜厚度测量装置中的反射膜厚测量模块用于获取经标定位置处薄膜反射的第一反射光信号的标定位置反射光谱信息；光声膜厚测量模块用于依次发射第二入射光信号和第三入射光信号至标定位置，获取和分析经薄膜反射的第三反射光信号以确定标定位置的第一厚度信息；控制模块用于根据标定位置反射光谱信息、薄膜的反射率理论计算公式和第一厚度信息确定薄膜的实际折射率和实际消光系数；反射膜厚测量模块还用于获取经待测位置处薄膜反射的第一反射光信号的标待测位置反射光谱信息；控制模块还用于根据实际折射率、实际消光系数和标待测位置反射光谱信息确定待测位置的厚度信息。可提高薄膜厚度测量的准确性。

天眼查数据显示，无锡卓海科技股份有限公司成立日期2009年6月3日，法定代表人相宇阳，所属行业为专用设备制造业，企业规模为小型，注册资本7168.6725万人民币，实缴资本6206.7万人民币，注册地址为无锡市新吴区珠江路97号。无锡卓海科技股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目102次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息179条，拥有行政许可40个。

无锡卓海科技股份有限公司近期专利情况如下：

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