5月17日消息,国家知识产权局信息显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司、西安欣芯材料科技有限公司申请一项名为“硅片的切割线痕缺陷检测方法、系统及存储介质”的专利。申请公布号为CN122048788A,申请号为CN202511904614.7,申请公布日期为2026年5月15日,申请日期为2025年12月17日,发明人杨宗辉、陈曦鹏、王黎昱,专利代理机构西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙),专利代理师沈寒酉、李斌栋,分类号G06T7/00、H10P74/20、H10P74/00、G01N21/88、G01N21/95、G06V10/50。
专利摘要显示,本公开提供了一种硅片的切割线痕缺陷检测方法、系统及存储介质,通过获取待测硅片表面的纳米形貌图数据,并将纳米形貌图数据映射为灰度图像,可以充分利用纳米形貌数据的空间分布信息,从宏观及微观多方面进行分析。在灰度图像中定义检测路径,并沿检测路径设置至少一个检测区域。对于每个检测区域,提取其内像素灰度值的统计分布特征,以判定检测区域内是否存在切割线痕缺陷,可以敏锐地捕捉到由切割线痕缺陷引起的微小高度异常,从而检测出隐性缺陷。其中,检测区域沿检测特定的路径设置,能够有效区分具有方向性的切割线痕缺陷与随机噪声,显著降低了误检率。
西安奕材于2016年3月16日成立,2025年10月28日在上海证券交易所上市,注册地址和办公地址均为陕西省西安市。该公司是国内专注12英寸硅片研发、生产与销售的企业,在半导体材料领域具备一定技术实力。
西安奕材所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体材料,概念板块涵盖国家大基金持股、新股与次新股、次新股,主营业务是专注于12英寸硅片的研发、生产和销售。
2025年,西安奕材实现营业收入26.49亿元,在行业26家企业中排名第6,高于行业平均数19.89亿元和中位数11.14亿元,但与第一名有研新材的95.42亿元、第二名雅克科技的86.11亿元差距较大。其主营业务中,测试片收入10.42亿元,占比39.33%;抛光片9.84亿元,占比37.15%;外延片6.1亿元,占比23.03%,其中高端测试片4.61亿元,占比17.39%,其他(补充)1315万元,占比0.50%。净利润方面,2025年为 - 7.38亿元,在行业中排名25,远低于行业平均数3265.85万元和中位数8178.71万元,与第一名雅克科技的10.3亿元、第二名江丰电子的4.14亿元差距明显。
西安奕斯伟材料科技股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 协同控制体微缺陷的直拉硅单晶生长方法、装置及硅晶圆 | 发明专利 | 公布 | CN202610368132.2 | 2026-03-24 | CN122013300A | 2026-05-12 | 毛勤虎 |
| 2 | 一种加料角度调节方法及系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610350636.1 | 2026-03-20 | CN121931593A | 2026-04-28 | 赵嘉诚 |
| 3 | 一种拉晶收尾控制方法、装置及计算机存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610346713.6 | 2026-03-20 | CN121931597A | 2026-04-28 | 杨文武、宁沛娜 |
| 4 | 单晶生长方法及设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610345729.5 | 2026-03-20 | CN121931595A | 2026-04-28 | 潘浩、石小磊 |
| 5 | 一种晶体生长控制方法、装置及单晶硅生长炉 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610346716.X | 2026-03-20 | CN121931598A | 2026-04-28 | 杨文武、宁沛娜 |
| 6 | 一种研磨定盘及研磨设备、研磨方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610347640.2 | 2026-03-20 | CN122008064A | 2026-05-12 | 章晓东 |
| 7 | 抛光机、抛光垫检测方法、装置、检测设备、产品及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202610345452.6 | 2026-03-20 | CN122008069A | 2026-05-12 | 杨鑫卓 |
| 8 | 一种加热系统、方法及单晶硅生长装置 | 发明专利 | 公布 | CN202610349958.4 | 2026-03-20 | CN122039199A | 2026-05-15 | 潘浩、王浩、孙洪涛 |
| 9 | 一种晶圆形貌分类的方法、装置、设备及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202610269906.6 | 2026-03-06 | CN122049540A | 2026-05-15 | 李彤、兰洵、袁力军、李安杰、张婉婉 |
| 10 | 晶棒处理设备和晶棒处理方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610120374.X | 2026-01-28 | CN121945472A | 2026-05-01 | 郭宏雁、黄兆皓 |
| 11 | 硅片刻蚀方法和硅片刻蚀设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610079762.8 | 2026-01-21 | CN121865865A | 2026-04-14 | 贾志怡 |
| 12 | 控制半导体单晶生长的方法、装置、及晶棒 | 发明专利 | 公布 | CN202512010297.0 | 2025-12-29 | CN121653837A | 2026-03-13 | 杨文武、宁沛娜 |
| 13 | 半导体制造设备,及其尾气处理方法、系统 | 发明专利 | 公布 | CN202512010197.8 | 2025-12-29 | CN121944738A | 2026-05-01 | 杨文武、宁沛娜 |
| 14 | 一种硅片缺陷处理方法、表面处理液、硅片及清洗装置 | 发明专利 | 公布 | CN202512012667.4 | 2025-12-29 | CN122028669A | 2026-05-12 | 张申申 |
| 15 | 拉晶工艺的功率控制方法、装置、设备及计算机存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511996021.8 | 2025-12-26 | CN121675079A | 2026-03-17 | 杨文武、宁沛娜 |
| 16 | 双面抛光方法及设备、计算设备、介质及抛光晶圆 | 发明专利 | 公布 | CN202511961424.9 | 2025-12-24 | CN122008066A | 2026-05-12 | 潘石、刘还平、白强强、王明 |
| 17 | 一种晶圆的抛光方法以及晶圆 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511956856.0 | 2025-12-23 | CN121941286A | 2026-04-28 | 贾磊、杨新元、王明 |
| 18 | 抛光头组件、化学机械抛光系统及晶圆的制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511911677.5 | 2025-12-17 | CN121624982A | 2026-03-10 | 王鹏、许涛、杨启 |
| 19 | 晶圆检测设备和晶圆检测方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511904874.4 | 2025-12-17 | CN121678673A | 2026-03-17 | 薛博涛、陈光林、刘玉乾、黄兆皓 |
| 20 | 单晶硅棒的生长控制方法、装置、介质以及单晶炉 | 发明专利 | 公布 | CN202511905877.X | 2025-12-17 | CN121951677A | 2026-05-01 | 潘浩、崔源进、张鹏举 |
| 21 | 一种晶圆清洁系统及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511907326.7 | 2025-12-17 | CN121969052A | 2026-05-01 | 康建 |
| 22 | 硅片的切割线痕缺陷检测方法、系统及存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511904614.7 | 2025-12-17 | CN122048788A | 2026-05-15 | 杨宗辉、陈曦鹏、王黎昱 |
| 23 | 线切割装置及线切割取样方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511899233.4 | 2025-12-16 | CN121403584A | 2026-01-27 | 王晋飞 |
| 24 | 一种电阻率测试装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511897839.4 | 2025-12-16 | CN121917845A | 2026-04-24 | 贺鹏 |
| 25 | 清洗设备、清洗方法、清洗装置、控制设备、产品及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511866027.3 | 2025-12-11 | CN121665982A | 2026-03-13 | 张树星、陈海龙、夏新超、左斌 |
| 26 | 一种拉晶装置及拉晶方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511869249.0 | 2025-12-11 | CN121781273A | 2026-04-03 | 闫龙、张鹏举、吴超、纪天平、李智超 |
| 27 | 一种边缘缺陷的检测方法、装置、设备、系统及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511869589.3 | 2025-12-11 | CN122016796A | 2026-05-12 | 周淼 |
| 28 | 热场调节装置、单晶炉和热场调节方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511856243.X | 2025-12-10 | CN121344772A | 2026-01-16 | 黄文洋 |
| 29 | 一种籽晶倾斜检测方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511855413.2 | 2025-12-10 | CN121366283A | 2026-01-20 | 彭标、孙洪涛 |
| 30 | 一种晶棒切割装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511858998.3 | 2025-12-10 | CN121572470A | 2026-02-27 | 王磊磊、霍慧文、刘士靖、刘倩 |
| 31 | 一种砂轮参数确定方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511854835.8 | 2025-12-10 | CN121580854A | 2026-02-27 | 李彤、兰洵、袁力军、李安杰、张婉婉 |
| 32 | 一种拉晶收尾的控制方法及系统 | 发明专利 | 公布 | CN202511858477.8 | 2025-12-10 | CN121826878A | 2026-04-10 | 纪天平、彭标、闫龙 |
| 33 | 一种晶圆的检测方法、系统及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511859289.7 | 2025-12-10 | CN121908854A | 2026-04-21 | 史铁柱、庞鲁、王龙 |
| 34 | 半导体设备的检验方法、装置、设备、系统及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511854133.X | 2025-12-10 | CN121978104A | 2026-05-05 | 李康康 |
| 35 | 缺陷晶圆的拦截方法、装置、设备及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511842176.6 | 2025-12-09 | CN121969119A | 2026-05-01 | 程瑜、贺鑫、胡一洲、万珣 |
| 36 | 晶圆边缘质量的评估方法、装置、设备及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511844052.1 | 2025-12-09 | CN122042479A | 2026-05-15 | 薛浩波、袁力军、兰洵、张婉婉 |
| 37 | 晶圆检测方法及相关装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511837367.3 | 2025-12-08 | CN121665979A | 2026-03-13 | 吕天爽 |
| 38 | 晶棒长度的确定方法、装置、介质及晶体生长系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840689.3 | 2025-12-08 | CN121874923A | 2026-04-17 | 赵亮 |
| 39 | 一种单片清洗装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840630.4 | 2025-12-08 | CN121888884A | 2026-04-17 | 左斌、陈海龙、王颖、张树星、夏新超 |
| 40 | 硅片研磨的生产系统、控制方法和装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840651.6 | 2025-12-08 | CN121870626A | 2026-04-17 | 王琛、张宁轩、黄兆皓 |
| 41 | 硅生长轴连接装置、硅生长系统及埚转偏差协同补偿方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840788.1 | 2025-12-08 | CN121874924A | 2026-04-17 | 彭标、孙洪涛 |
| 42 | 一种晶圆的检测方法、系统及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840660.5 | 2025-12-08 | CN121925097A | 2026-04-24 | 史铁柱、庞鲁、王龙 |
| 43 | 单晶硅的拉晶控制方法、装置及相关设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511826516.6 | 2025-12-05 | CN121538725A | 2026-02-17 | 杨松、赵亮 |
| 44 | 绝缘体上硅衬底及其制备方法、射频绝缘体上硅晶圆 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511830184.9 | 2025-12-05 | CN121908606A | 2026-04-21 | 张博、兰洵、车宇航、王文娟、刘贵浩 |
| 45 | 晶圆的清洗方法、设备、以及晶圆 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511815254.3 | 2025-12-04 | CN121604750A | 2026-03-03 | 党快乐、兰洵 |
| 46 | 一种双面抛光方法、双面抛光设备及硅片 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511817716.5 | 2025-12-04 | CN121870547A | 2026-04-17 | 郭宏雁、陈祖庆 |
| 47 | 硅片切割线痕判定方法及装置、电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511772774.0 | 2025-11-28 | CN121374876A | 2026-01-23 | 王黎昱、陈曦鹏 |
| 48 | 一种外延片边缘形貌补偿型晶圆双面抛光装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511770029.2 | 2025-11-28 | CN121535652A | 2026-02-17 | 王俊夫 |
| 49 | 晶圆处理方法及装置、电子设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511775486.0 | 2025-11-28 | CN121548286A | 2026-02-17 | 张城旗、苏艳宁、王黎昱 |
| 50 | 晶圆检测与标识的设备、方法及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511775182.4 | 2025-11-28 | CN121865898A | 2026-04-14 | 李乐杰、张钊、范东方、陈建勇 |
天眼查数据显示,西安欣芯材料科技有限公司成立日期2022年8月3日,法定代表人刘还平,所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业,企业规模为中型,注册资本504400万人民币,实缴资本355000万人民币,注册地址为陕西省西安市高新区西沣南路1888号1号办公楼1-1-046室。西安欣芯材料科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目173次,财产线索方面有商标信息0条,专利信息180条,拥有行政许可25个。
西安欣芯材料科技有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种加料角度调节方法及系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610350636.1 | 2026-03-20 | CN121931593A | 2026-04-28 | 赵嘉诚 |
| 2 | 单晶生长方法及设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610345729.5 | 2026-03-20 | CN121931595A | 2026-04-28 | 潘浩、石小磊 |
| 3 | 一种加热系统、方法及单晶硅生长装置 | 发明专利 | 公布 | CN202610349958.4 | 2026-03-20 | CN122039199A | 2026-05-15 | 潘浩、王浩、孙洪涛 |
| 4 | 硅片刻蚀方法和硅片刻蚀设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610079762.8 | 2026-01-21 | CN121865865A | 2026-04-14 | 贾志怡 |
| 5 | 抛光头组件、化学机械抛光系统及晶圆的制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511911677.5 | 2025-12-17 | CN121624982A | 2026-03-10 | 王鹏、许涛、杨启 |
| 6 | 单晶硅棒的生长控制方法、装置、介质以及单晶炉 | 发明专利 | 公布 | CN202511905877.X | 2025-12-17 | CN121951677A | 2026-05-01 | 潘浩、崔源进、张鹏举 |
| 7 | 一种晶圆清洁系统及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511907326.7 | 2025-12-17 | CN121969052A | 2026-05-01 | 康建 |
| 8 | 硅片的切割线痕缺陷检测方法、系统及存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511904614.7 | 2025-12-17 | CN122048788A | 2026-05-15 | 杨宗辉、陈曦鹏、王黎昱 |
| 9 | 线切割装置及线切割取样方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511899233.4 | 2025-12-16 | CN121403584A | 2026-01-27 | 王晋飞 |
| 10 | 清洗设备、清洗方法、清洗装置、控制设备、产品及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511866027.3 | 2025-12-11 | CN121665982A | 2026-03-13 | 张树星、陈海龙、夏新超、左斌 |
| 11 | 一种籽晶倾斜检测方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511855413.2 | 2025-12-10 | CN121366283A | 2026-01-20 | 彭标、孙洪涛 |
| 12 | 晶圆检测方法及相关装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511837367.3 | 2025-12-08 | CN121665979A | 2026-03-13 | 吕天爽 |
| 13 | 晶棒长度的确定方法、装置、介质及晶体生长系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840689.3 | 2025-12-08 | CN121874923A | 2026-04-17 | 赵亮 |
| 14 | 一种单片清洗装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840630.4 | 2025-12-08 | CN121888884A | 2026-04-17 | 左斌、陈海龙、王颖、张树星、夏新超 |
| 15 | 硅生长轴连接装置、硅生长系统及埚转偏差协同补偿方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840788.1 | 2025-12-08 | CN121874924A | 2026-04-17 | 彭标、孙洪涛 |
| 16 | 单晶硅的拉晶控制方法、装置及相关设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511826516.6 | 2025-12-05 | CN121538725A | 2026-02-17 | 杨松、赵亮 |
| 17 | 一种双面抛光方法、双面抛光设备及硅片 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511817716.5 | 2025-12-04 | CN121870547A | 2026-04-17 | 郭宏雁、陈祖庆 |
| 18 | 硅片切割线痕判定方法及装置、电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511772774.0 | 2025-11-28 | CN121374876A | 2026-01-23 | 王黎昱、陈曦鹏 |
| 19 | 晶圆处理方法及装置、电子设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511775486.0 | 2025-11-28 | CN121548286A | 2026-02-17 | 张城旗、苏艳宁、王黎昱 |
| 20 | 一种用于晶棒生长的控制装置、方法以及拉晶炉 | 发明专利 | 公布 | CN202511762453.2 | 2025-11-27 | CN121556142A | 2026-02-24 | 蔡媛媛 |
| 21 | 化学机械抛光设备及抛光方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511755819.3 | 2025-11-27 | CN121696842A | 2026-03-20 | 王泽康 |
| 22 | 改善晶圆平坦度的方法、装置、设备、系统及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511766166.9 | 2025-11-27 | CN121756221A | 2026-03-31 | 习恒 |
| 23 | 一种拉晶收尾控制方法、装置、设备及计算机存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511755172.4 | 2025-11-26 | CN121629510A | 2026-03-10 | 刘锦章 |
| 24 | 单晶硅棒的磨削控制方法、装置、存储介质及电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511759290.2 | 2025-11-26 | CN121733370A | 2026-03-27 | 闫旭斌 |
| 25 | 加料装置、二次加料方法及单晶炉 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511723278.6 | 2025-11-21 | CN121802535A | 2026-04-07 | 代俊乐 |
| 26 | 硅片边缘抛光设备及方法、控制装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511711516.1 | 2025-11-20 | CN121223677A | 2025-12-30 | 默玉海 |
| 27 | 参数监控方法及装置、电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511711413.5 | 2025-11-20 | CN121433159A | 2026-01-30 | 王龙飞 |
| 28 | 基于深度学习模型的放肩控制方法、装置及相关设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511618385.2 | 2025-11-06 | CN121451291A | 2026-02-03 | 潘浩 |
| 29 | 冷却装置及单晶炉 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511554726.4 | 2025-10-29 | CN121610884A | 2026-03-06 | 彭标、孙洪涛 |
| 30 | 结晶控制设备、结晶控制方法、装置、控制设备及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511494017.1 | 2025-10-20 | CN121321211A | 2026-01-13 | 赵亮 |
| 31 | 一种晶圆清洗系统和方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511482114.9 | 2025-10-16 | CN121358206A | 2026-01-16 | 吕天爽 |
| 32 | 一种抛光垫清洗设备及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511422964.X | 2025-09-30 | CN121082581A | 2025-12-09 | 李凡 |
| 33 | 一种外延硅晶圆及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511372934.2 | 2025-09-24 | CN121472986A | 2026-02-06 | 孙毅、贾帅 |
| 34 | 一种晶圆检测方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511296601.6 | 2025-09-11 | CN121123050A | 2025-12-12 | 蒙亮亮、王雷、王奔、赵李鑫、万珣 |
| 35 | 一种晶圆的清洗干燥方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511106481.9 | 2025-08-08 | CN120954964A | 2025-11-14 | 夏新超、张树星、陈海龙 |
| 36 | 一种晶圆缺陷的工艺段确定方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511095534.1 | 2025-08-06 | CN120933183A | 2025-11-11 | 贾聪、王雷、赵李鑫、万珣、丁泉泉 |
| 37 | 晶圆的检测装置及晶圆的检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511096636.5 | 2025-08-06 | CN120933184A | 2025-11-11 | 苏旭文、戎淇舰、吕天爽、蒙亮亮 |
| 38 | 一种销环组件、双面抛光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510966103.1 | 2025-07-14 | CN120620063A | 2025-09-12 | 陈祖庆 |
| 39 | 硅片的厚度测量方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510964157.4 | 2025-07-14 | CN120740458A | 2025-10-03 | 蒙亮亮、王雷、苏旭文、贾聪、唐贝 |
| 40 | 吊渣装置及晶体生长设备、单晶炉渣料去除方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510863056.8 | 2025-06-25 | CN120649139A | 2025-09-16 | 冀泓宜 |
| 41 | 用于晶圆的清洗方法以及晶圆 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510852496.3 | 2025-06-24 | CN120895459A | 2025-11-04 | 郭宏雁、崔源进、左斌、张树星、夏新超 |
| 42 | 一种晶圆清洗方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510777036.9 | 2025-06-11 | CN120878538A | 2025-10-31 | 夏新超、李燦朝、张树星、陈海龙、左斌 |
| 43 | 一种晶圆缺陷检测方法、装置、设备及可读存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510734809.5 | 2025-06-04 | CN120635018A | 2025-09-12 | 万珣、马强强 |
| 44 | 二次加料定位装置及单晶炉、二次加料方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510690564.0 | 2025-05-27 | CN120443327A | 2025-08-08 | 郑永远 |
| 45 | 一种晶圆缺口定位装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510669615.1 | 2025-05-23 | CN120545237A | 2025-08-26 | 刘文文 |
| 46 | 一种晶圆清洗方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510672784.0 | 2025-05-23 | CN120809603A | 2025-10-17 | 夏新超、陈海龙、张树星 |
| 47 | 用于边缘刻蚀装置的处理方法以及边缘刻蚀方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510627483.6 | 2025-05-15 | CN120727555A | 2025-09-30 | 杨海龙 |
| 48 | 晶圆缺陷检测方法、装置、设备、存储介质及程序产品 | 发明专利 | 公布 | CN202510504732.2 | 2025-04-22 | CN120300019A | 2025-07-11 | 万珣、苗小明、蒙亮亮 |
| 49 | 一种晶圆夹持器件的处理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510499125.1 | 2025-04-21 | CN120581461A | 2025-09-02 | 吕天爽 |
| 50 | 硅片测量装置及其工作方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510399227.6 | 2025-04-01 | CN120252586A | 2025-07-04 | 万珣、蒙亮亮、王雷 |
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