数据显示，5月21日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)获净申购3.93亿元，位居当日股票ETF净流入排名11/1200。最新规模25.27亿元，前一日规模23.13亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为16.97%。

近5日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)获净申购6.41亿元，位居股票ETF净流入排名第13/1200。近10日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)获净申购6.73亿元，位居股票ETF净流入排名第15/1200。近20日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)获净申购4.15亿元，位居股票ETF净流入排名第48/1200。

华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）成立于2025年5月26日，基金全称为华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。

规模方面，截止5月21日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）最新份额为9.66亿份，最新规模为25.27亿元。回顾2025年12月31日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）份额为5.7亿份，规模为8.86亿元。即该基金今年以来份额增加69.44%，规模增加185.12%。

流动性方面，截止5月21日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）近20个交易日累计成交金额66.96亿元，日均成交金额3.35亿元；今年以来，89个交易日，累计成交金额208.98亿元，日均成交金额2.35亿元。

华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）现任基金经理为李沐阳。李沐阳自2025年5月26日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益161.50%。

最新定期报告显示，华泰柏瑞基金（588710）重仓股包括拓荆科技、华海清科、中微公司、中科飞测、安集科技、沪硅产业、芯源微、华峰测控、天岳先进、富创精密，持仓占比如下：

跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

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