映日科技申请氧化物靶材相关专利，提升氧化物靶材良率与生坯密度的制备作用
创始人
2026-08-22 10:33:19
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8月22日消息，国家知识产权局信息显示，芜湖映日科技股份有限公司申请一项名为“用于反应等离子体沉积的高均匀性氧化物靶材的制备方法”的专利。申请公布号为CN122608404A，申请号为CN202610827303.3，申请公布日期为2026年8月21日，申请日期为2026年6月9日，发明人曾墩风、方月、王志强、曾探，专利代理机构南京正联知识产权代理有限公司，专利代理师杨静，分类号C04B35/453、C04B35/01、C04B35/622、C04B38/06、C23C14/32。

专利摘要显示，本发明涉及半导体材料制备技术领域，提供一种用于反应等离子体沉积的高均匀性氧化物靶材的制备方法，采用纤维素类造孔剂，通过分段脱脂工艺，使PVA粘结剂和纤维素类造孔剂在不同温度区间依次分解，气体缓慢、有序地逸出，避免了传统工艺中大量气体同时逸出导致的靶材内部气孔和裂纹问题，产品良率从传统的70%左右提高至95%以上。通过优化喷雾造粒工艺，制备出球形度高、流动性好的造粒粉末，配合冷等静压成型工艺，使靶材生坯密度从传统的55‑60%理论密度提高至65%以上，为后续烧结致密化奠定了良好基础。

天眼查数据显示，芜湖映日科技股份有限公司成立日期2015年8月21日，法定代表人张兵，所属行业为其他制造业，企业规模为中型，注册资本8940.0276万人民币，实缴资本8940.0276万人民币，注册地址为中国（安徽）自由贸易试验区芜湖片区衡山路南侧、凤鸣湖北路西侧1#厂房。芜湖映日科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目19次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息218条，拥有行政许可39个。

芜湖映日科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种直流溅射磷酸锂靶材、制备方法及应用发明专利公布CN202610983742.32026-07-03CN122484699A2026-07-31曾墩风、张兵、刘兴龙、曾探、王志强
2一种磷酸锂靶材发明专利实质审查的生效、公布CN202610905334.62026-06-23CN122428241A2026-07-21曾墩风、张兵、刘兴龙、曾探、王志强
3用于反应等离子体沉积的高均匀性氧化物靶材的制备方法发明专利公布CN202610827303.32026-06-09CN122608404A2026-08-21曾墩风、方月、王志强、曾探
4显示领域的半导体氧化物α-IGO靶材及其应用方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511391027.22025-09-26CN121318387A2026-01-13曾墩风、王志强、方月、曾探
5显示领域高性能半导体氧化物IGGXO靶材及其应用方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511338864.92025-09-18CN121292941A2026-01-09曾墩风、方月、王志强、曾探
6一种高密度低温烧结IGZO靶材及其制备方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202511029821.22025-07-25CN120518390B2025-09-26曾墩风、王志强、曾探、鄢波、陈光园
7一种背管自动超铟设备实用新型授权CN202521339891.32025-06-27CN224325395U2026-06-05王振宏、马建保、曾墩风、潘友华
8一种粉末输送自动化装置实用新型授权CN202521302794.72025-06-24CN224324762U2026-06-05曾墩风、陈光园、王志强、曾探
9一种AgPdCu合金的溅射靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510835426.72025-06-20CN120719260A2025-09-30张信征、曾墩风、方亮、屈一鸣
10一种靶材超声波清洗工装实用新型授权CN202521240744.02025-06-17CN224321970U2026-06-05曾探、王志强、曾墩风、潘友华
11高迁移率半导体IGZTO靶材及其有源层制备工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202510792508.82025-06-13CN120624996A2025-09-12曾墩风、王志强、方月、刘兴龙
12高密度低电阻率ZTO靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510767746.32025-06-10CN120590159A2025-09-05曾墩风、王志强、于庆萍
13一种低电阻高透过无铟靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510718009.42025-05-30CN120535303A2025-08-26曾墩风、于庆萍、王志强、曾探、方月
14高透过率管状氧化物靶材的复合梯度烧结成型方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510693435.72025-05-27CN120574037A2025-09-02曾墩风、鄢波、王志强、曾探、方月
15使用具有氧化锡的承烧板的高阻氧化物靶材垫烧烧结方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510650829.42025-05-20CN120574052A2025-09-02王志强、曾墩风、鄢波、闫清龙
16一种大幅减少ITO旋转靶材烧结底部变形的垫烧方式发明专利实质审查的生效、公布CN202510632784.82025-05-16CN120483678A2025-08-15王志强、武炳、曾墩风、徐军伟、马建保
17一种旋转靶内圆及端面加工设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510620787.X2025-05-14CN120395594A2025-08-01武炳、徐军伟、王志强、马建保
18一种离子注入掺杂IGZO薄膜的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510584090.12025-05-07CN120555963A2025-08-29王志强、曾墩风、鄢波、曾探
19一种低结瘤高薄膜良率的新型氧化铟锡靶材及其制备方法发明专利公布CN202510567704.52025-04-30CN120289173A2025-07-11曾墩风、方月、王志强、曾探、陈光园
20一种高纯度高致密度GZO靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510531506.32025-04-25CN120423869A2025-08-05曾墩风、王志强、曾探、鄢波
21一种旋转靶磨外圆的装夹气动工装发明专利授权CN202510507161.82025-04-22CN120326527B2026-07-31武炳、徐军伟、王志强、马建保
22一种低色差高密度的IZO靶材制备工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202510485583.X2025-04-17CN120423855A2025-08-05曾墩风、王志强、鄢波、曾探
23一种高迁移率高透过率氧化铟基靶材的薄膜制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510455801.52025-04-11CN120400757A2025-08-01曾墩风、方月、王志强、于庆萍
24一种ITO靶材粉末的高效烧结方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510432912.42025-04-08CN120271336A2025-07-08武炳、王志强、马建保、曾墩风、徐军伟
25基于电流煅烧的多孔结构低密度IWO蒸镀靶材制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510392643.32025-03-31CN120157506A2025-06-17曾墩风、王志强、鄢波、曾探、方月
26一种低成本常压烧结制备高致密PZTO靶材的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510367642.32025-03-26CN120208669A2025-06-27曾墩风、王志强、鄢波、曾探、陈光园
27一种ICO蒸镀靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510328276.02025-03-19CN120247556A2025-07-04曾墩风、王志强、鄢波、曾探、陈光园
28一种圆筒靶材的装卸装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510298435.72025-03-13CN120229541A2025-07-01曾墩风、曾探、王志强、潘友华、徐军伟
29一种靶材烧结装置实用新型授权CN202520395050.82025-03-07CN224034373U2026-03-24曾墩风、鄢波、王志强
30一种靶材加粉定位工装实用新型授权CN202520337518.82025-02-28CN224323637U2026-06-05王志强、曾墩风、鄢波、曾探
31一种平面靶材斜边加工装置实用新型授权CN202520307090.22025-02-25CN224027191U2026-03-24曾墩风、陈光园、王志强
32一种高硬度平面溅射铜靶材的生产工艺发明专利授权CN202510195755.X2025-02-21CN119973560B2026-01-02曾墩风、张信征、王津津
33不同比表面积氧化铟制备高密度旋转ITO靶材的方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510177891.62025-02-18CN119874333A2025-04-25武炳、马建保、曾墩风、徐军伟、王志强
34一种高密度、高导电性、低电阻率IGZO靶材及其制备方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202510147506.32025-02-11CN119613093A2025-03-14曾墩风、王志强、鄢波、曾探
35用于显示领域BM材料的氧化钼基靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510094607.92025-01-21CN119930284A2025-05-06王志强、曾墩风、鄢波、陈光园
36高透光率和高导电性的AGZO靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510074196.72025-01-17CN119874350A2025-04-25曾墩风、王志强、鄢波、曾探
37一种圆靶材检测设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510049630.62025-01-13CN119826710B2025-10-10曾墩风、曾探、王志强
38太阳能电池用高迁移率低接触电阻靶材及薄膜制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510030143.52025-01-08CN119822789A2025-04-15曾墩风、方月、王志强、曾探
39一种金属平面靶材机加工定位固定装置发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411985887.42024-12-31CN119734215A2025-04-01屈一鸣、张信征、曾墩风
40一种超大尺寸的平面靶装炉升降车实用新型授权CN202423231461.82024-12-26CN223737609U2025-12-30曾墩风、陈光园、王志强、曾探
41一种高纯平面铜靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411914686.52024-12-24CN119800298A2025-04-11王津津、曾墩风、张信征
42一种高精度靶材电阻率自动化测量系统与方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411887169.32024-12-20CN119804992A2025-04-11王志强、曾墩风、鄢波
43一种溅射平面银铟合金靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411872480.02024-12-18CN119776777A2025-04-08曾墩风、张信征、王津津
44一种台面滚轮工装车实用新型授权CN202423085622.72024-12-13CN223384497U2025-09-26石煜、曾墩风、杨超
45一种IZrO靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411820332.42024-12-11CN119774981A2025-04-08曾墩风、王志强、曾探、陈光园、鄢波
46一种纳米晶氧化镍靶材及其透明导电薄膜中的应用发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411801599.92024-12-09CN119797891A2025-04-11曾墩风、王志强、曾探、鄢波、闫清龙
47一种IZrO透明导电薄膜及其制备方法和应用发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411762647.82024-12-03CN119553228B2025-09-23鄢波、曾墩风、王志强、曾探、陈光园
48一种低电阻高透过低铟靶材的制备方法发明专利著录事项变更、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411740214.22024-11-29CN119551981A2025-03-04曾墩风、于庆萍、王志强、曾探
49一种具有导电性磷酸锂溅射靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411705187.52024-11-26CN119433410A2025-02-14石煜、曾墩风、王志强、杨超
50IGZO薄膜质量评估方法及电子设备发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411673333.02024-11-21CN119534450A2025-02-28鄢波、曾墩风、王志强、曾探

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