8月29日消息，国家知识产权局信息显示，浙江双元科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆测厚系统”的专利，授权公告号CN224695220U，授权公告日为2026年8月28日。申请号为CN202621143050.X，申请公布日期为2026年8月28日，申请日期为2026年7月27日，发明人骆超、黄博、戈淑雅、李见奇、周洋东，专利代理机构苏州途正专利代理有限公司，专利代理师于森，分类号G01B11/06。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种晶圆测厚系统，包括基座、运动模块、显微成像模块、白光干涉测厚模块和工控联动控制单元。显微成像模块包括显微照明光源、柯勒照明组件、第一分光模块、显微物镜、筒镜、第二分光模块和成像模块；白光干涉测厚模块包括白光光源、光纤耦合器、光谱仪及光纤接收端。成像模块和光纤接收端经第二分光模块与共用的显微物镜、筒镜相连，光纤接收端设有Z向调节机构和XY调节机构；控制单元控制两光源分时工作。该系统可实现样品测量区域的可视化定位和膜厚测量。

双元科技是国内领先的在线自动化测控与机器视觉智能检测系统服务商，深耕过程质量检测控制领域，具备全链条技术壁垒。公司成立于2006年3月21日，于2023年6月8日在上海证券交易所上市，注册及办公地址均位于浙江省杭州市。

双元科技为生产过程质量检测及控制解决方案提供商，所属申万行业为机械设备-自动化设备-其他自动化设备，覆盖AI训练、机器视觉、高派息三大概念板块，专注为企业提供涵盖面密度、厚度、水分等工艺参数检测的高精度闭环控制在线自动化测控系统，以及面向表面瑕疵、内部缺陷检测与尺寸测量的机器视觉智能检测系统，助力客户实现智能化检测与自动化控制。

2026年上半年，双元科技实现营业收入1.82亿元，在29家同行业可比公司中排名第23位，当期营收规模远低于行业第一名博众精工的32.36亿元、第二名怡合达的18.54亿元，也低于5.61亿元的行业平均水平与3.27亿元的行业中位数；当期归母净利润达4311.4万元，行业排名第13位，低于行业龙头怡合达的3.18亿元、博众精工的2.55亿元，略低于4535.57万元的行业平均水平，高于2691.98万元的行业中位数。从主营业务构成来看，在线自动化检测系统贡献营收1.08亿元，占总营收比重59.09%；机器视觉智能检测系统实现营收6743.37万元，占比37.02%；系统部件及维修服务等业务营收708.7万元，占比3.89%。

浙江双元科技股份有限公司近期专利情况如下：

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