7月4日消息,国家知识产权局信息显示,中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司申请一项名为“一种可移动式离子泵高压电源装置与实现方法”的专利,授权公告号CN117526499B,授权公告日为2026年7月3日。申请公布号为CN117526499A,申请号为CN202311397176.0,申请公布日期为2026年7月3日,申请日期为2023年10月26日,发明人叶琳琳、袁方、佟雷、汪良,专利代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司,专利代理师王倩,分类号H02J7/80、H01J41/12、H02J7/90。
专利摘要显示,本发明属于极高真空离子泵领域,具体说是一种适用于新型极高真空离子泵的可移动式高压电源装置与实现方法。所述装置包括:移动供电单元、总控开关单元、DC‑DC变换单元、高压输出单元、电压/电流处理单元、移动高压电源壳体单元。移动供电单元,用于为整个移动式高压电源装置供电;总控开关单元,用于控制高压电源输出的启动和停止;DC‑DC变换单元,用于将供电输入电压进行升压处理,为离子泵工作提供动力源;高压输出单元,用于通过高压电缆将高压电源送至离子泵,保障离子泵的稳定工作;电压处理单元,用于显示当前离子泵输出的电压/电流参数;移动高压电源壳体单元,用于器件的安装、操控和固定。
中科仪成立于2001年4月18日,于2026年4月29日在北京证券交易所上市,注册和办公地址均为辽宁省沈阳市。该公司是国内真空设备领域的重要企业,专注干式真空泵等真空仪器设备,具备较强技术研发实力。
中科仪主营业务为干式真空泵、真空仪器设备的研发、生产和销售,并提供相关技术服务,所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备,涉及中科院系、大基金概念、国家大基金持股等概念板块。
2025年,中科仪实现营业收入12.91亿元,在行业25家公司中排名第15,远低于第一名北方华创的393.53亿元和第二名中微公司的123.85亿元,低于行业平均数41.44亿元,但接近行业中位数14.26亿元。其主营业务中,干式真空泵收入8.35亿元,占比64.63%。净利润方面,2025年为8.44亿元,行业排名第7,低于第一名北方华创的54.09亿元和第二名中微公司的20.64亿元,高于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元。
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种磁控阴极的磁场设计方法及磁场测量装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511563313.2 | 2025-10-30 | CN121496338A | 2026-02-10 | 白印、赵崇凌、王启佳、王文娟、黄晓霞、李驰、佟雷、马锦 |
| 2 | 一种高温束源炉真空内坩埚的位置调整机构 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511416679.7 | 2025-09-30 | CN121344756A | 2026-01-16 | 黄成、王启佳、毕永生、朱龙来、赵崇凌、张学锋 |
| 3 | 一种在超高真空环境下使用的多功能加热盘 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511398459.6 | 2025-09-28 | CN121344783A | 2026-01-16 | 杨嘉辉、王启佳、解晓宇、王国力、李驰、杨普明、赵崇凌、张学峰 |
| 4 | 一种应用于自动化系统的可编程控制系统及控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511221610.9 | 2025-08-29 | CN121143171A | 2025-12-16 | 李驰、王启佳、王文娟、解晓宇、张国栋、唐嘉棋、赵崇凌、张学锋 |
| 5 | 一种异形板弹簧及其制造工艺 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202511071574.2 | 2025-08-01 | CN120551730B | 2025-10-17 | 张吉鑫、袁方、叶琳琳、施德宇、汪良、赵崇凌、佟雷、马锦、王启佳 |
| 6 | 真空干泵在线实时异常检测方法、电子设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511039546.2 | 2025-07-28 | CN120873868A | 2025-10-31 | 王光玉、孔祥玲、张军、吕志鹏、张瑞年 |
| 7 | 适用于超高真空、快速响应、切向摆动的电动束源炉挡板 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511033905.3 | 2025-07-25 | CN120866930A | 2025-10-31 | 王启佳、王忠旭、雷震霖、毕永生、李重茂、赵崇凌、佟雷、张学锋、戚晖、李大辉 |
| 8 | 一种应用于分子束外延设备的冷屏结构 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511023990.5 | 2025-07-24 | CN120925071A | 2025-11-11 | 王忠旭、赵崇凌、张学全、毕永生、张健博、王启佳、张学锋 |
| 9 | 一种线性驱动方式带动束源炉挡板转动开关的装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511009613.6 | 2025-07-22 | CN120866929A | 2025-10-31 | 王忠旭、赵崇凌、毕永生、黄成、王勇、王启佳、张学锋 |
| 10 | 一种高温干式真空泵机组 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511000766.4 | 2025-07-21 | CN120684409A | 2025-09-23 | 孔祥玲、王光玉、徐静怡、王云、杨帆、张庆宏、高满堂 |
| 11 | 一种真空大负载升降机构 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202510934837.1 | 2025-07-08 | CN120423462A | 2025-08-05 | 李治、赵崇凌、王勇、张晋、王启佳、张学锋、毕永生 |
| 12 | 用于LLC高压直流电源空载电压稳定控制的假负载电路及控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510877189.0 | 2025-06-27 | CN120474350A | 2025-08-12 | 袁方、李志彬、叶琳琳、毕成江、汪良、李政、李冬 |
| 13 | 具有宽输出电压范围高压直流电源的PFM-PWM双模控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510877185.2 | 2025-06-27 | CN120566917A | 2025-08-29 | 袁方、叶琳琳、李志彬、汪良、毕成江、李政、张颖志 |
| 14 | 一种紧凑型真空泵 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510849246.4 | 2025-06-24 | CN120466200A | 2025-08-12 | 刘坤、闫万明、孔祥玲、王冰冰、谢元华、刘云鹏、王桂鹏、郝昌龙、马金梅、张佳崎 |
| 15 | 一种旋涡级定转子结构及真空泵 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510849244.5 | 2025-06-24 | CN120466196A | 2025-08-12 | 刘坤、崔少坤、孔祥玲、哈超、巴要帅、张军、谢元华、王冰冰、滕帅、卢衷正 |
| 16 | 一种应用于真空泵的水冷结构 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510781383.9 | 2025-06-12 | CN120520783A | 2025-08-22 | 刘坤、杨运、王光玉、孔祥玲、巴要帅、王冰冰、王桂鹏、王云、滕帅、潘宁 |
| 17 | 一种用于真空泵的电机安装腔室的可泄压设置结构 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510780066.5 | 2025-06-12 | CN120657996A | 2025-09-16 | 刘坤、滕帅、王光玉、王冰冰、谢元华、毕德龙、巴要帅、哈超、赵宇、曲文超 |
| 18 | 一种真空镀膜设备用观察窗防污染装置 | 实用新型 | 授权 | CN202521189661.3 | 2025-06-11 | CN223163480U | 2025-07-29 | 张学全、赵崇凌、王忠旭、王启佳、张学锋 |
| 19 | 一种真空泵动平衡调节系统及调节方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510772909.7 | 2025-06-11 | CN120576077A | 2025-09-02 | 刘坤、张宁、王光玉、孔祥玲、谢元华、王冰冰、滕帅、杨帆、刑爽、李鹏明 |
| 20 | 一种双级罗茨真空泵 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510642181.6 | 2025-05-19 | CN120537715A | 2025-08-26 | 王光玉、徐静怡、官磊、孔祥玲、王云、杨帆、李鹏明 |
| 21 | 一种氢气体积速率测量系统及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510602137.2 | 2025-05-12 | CN120594873A | 2025-09-05 | 张佳崎、王光玉、孔祥玲、王云、刘云鹏、彭阳、陈贺、于平迪 |
| 22 | 一种多用途静密封零件密封性验证用检漏工装 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510571139.X | 2025-05-06 | CN120628462A | 2025-09-12 | 秦艳山、曲文超、孔祥玲、王云、官磊、杨帆、徐静怡 |
| 23 | 一种摆动式的束流监测装置及其使用方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510443316.6 | 2025-04-10 | CN120334992A | 2025-07-18 | 王忠旭、张学锋、毕永生、张学全、王勇、赵崇凌、王启佳 |
| 24 | 一种RHEED性能参数测试系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411978414.1 | 2024-12-31 | CN119882004A | 2025-04-25 | 张颖志、袁方、叶琳琳、杜向辉、汪良、赵崇凌、佟雷、马锦、王启佳 |
| 25 | 一种用于真空设备的样品温度均匀性的检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411958655.X | 2024-12-30 | CN119756615A | 2025-04-04 | 佟雷、王文娟、赵崇凌、黄晓霞、张国栋、白印、李超、薛超 |
| 26 | 一种超高真空环境下使用的加热视窗 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的视为撤回、实质审查的生效、公布 | CN202411663339.X | 2024-11-20 | CN119145045A | 2024-12-17 | 王启佳、黄成、李重茂、毕永生、张学全、李镇、雷震霖、赵崇凌、佟雷、张学锋 |
| 27 | 一种加热视窗 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202411663338.5 | 2024-11-20 | CN119162657A | 2024-12-20 | 赵崇凌、黄成、雷震霖、毕永生、白雪、马国浩、温明朗、王启佳、佟雷、张学锋 |
| 28 | 一种降低易燃易爆风险的集成式真空系统机柜 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411562179.X | 2024-11-05 | CN119450991A | 2025-02-14 | 朱耀冬、王光玉、曹大伟、孔祥玲、刘云鹏、施赛杰、于录、彭阳 |
| 29 | 一种进出水口空间垂直的水管角度精准定位连接方式 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411534019.4 | 2024-10-31 | CN119267680A | 2025-01-07 | 施赛杰、曹大伟、王光玉、孔祥玲、刘云鹏、朱耀冬、于录、彭阳 |
| 30 | 一种超高真空机械手 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202411517172.6 | 2024-10-29 | CN119017421B | 2025-02-25 | 白印、赵崇凌、佟雷、王文娟、马锦、李驰 |
| 31 | 一种用于真空环境的金属密封结构 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的视为撤回、实质审查的生效、公布 | CN202411471089.X | 2024-10-22 | CN118979960A | 2024-11-19 | 施德宇、袁方、汪良、于旺、赵崇凌、王启佳、佟雷、马锦 |
| 32 | 一体集成式真空获得系统设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411465475.8 | 2024-10-21 | CN119267149A | 2025-01-07 | 刘云鹏、孔祥玲、施赛杰、朱耀冬、曹大伟、王光玉、于录、彭阳 |
| 33 | 一种用于真空环境下的镀银滚针轴承 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的视为撤回、实质审查的生效、公布 | CN202411446289.X | 2024-10-16 | CN118959444A | 2024-11-15 | 施德宇、袁方、汪良、于旺、赵崇凌、王启佳、佟雷、马锦 |
| 34 | 一种简易膜层结合力测试样品制备方法及应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411412504.4 | 2024-10-11 | CN119375143A | 2025-01-28 | 曲文超、刘葛禧夏、王云、李鹏明、苑仁飞、孔祥玲、王光玉 |
| 35 | 一种基于分布特征子集的真空干泵故障预测方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202411337815.9 | 2024-09-25 | CN118861587B | 2024-12-17 | 孔祥玲、王光玉、张军、吕志鹏、张瑞年 |
| 36 | 一种基于数据分布的真空干泵故障预测方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202411337786.6 | 2024-09-25 | CN118861586B | 2024-12-24 | 王光玉、孔祥玲、张军、吕志鹏、张瑞年 |
| 37 | 一种铝合金硬质阳极氧化自润滑膜层的制备方法及应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411215784.X | 2024-09-02 | CN119194556A | 2024-12-27 | 曲文超、李占东、孔祥玲、王光玉、王云 |
| 38 | 一种应用于燃烧水洗式半导体废气处理设备的气体燃烧器 | 发明专利 | 公布 | CN202411110835.2 | 2024-08-14 | CN118912500A | 2024-11-08 | 官磊、王光玉、孔祥玲、许明、陶显贵 |
| 39 | 一种三位置气缸及其使用方法 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202410961197.9 | 2024-07-18 | CN118499312B | 2024-09-13 | 施德宇、袁方、汪良、于旺、赵崇凌、王启佳、佟雷 |
| 40 | 一种具有环形级间气道结构的罗茨泵 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410926829.8 | 2024-07-11 | CN118855701A | 2024-10-29 | 王云、徐静怡、孔祥玲、官磊、杨帆、王光玉 |
| 41 | 一种样品梭夹取装置及夹取方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410863581.5 | 2024-06-29 | CN121223703A | 2025-12-30 | 张学良、袁方、于旺、李冬、赵崇凌、王启佳、佟雷 |
| 42 | 一种样品杯与真空腔室对接装置及对接方法 | 发明专利 | 授权 | CN202410863579.8 | 2024-06-29 | CN121237623B | 2026-06-23 | 张学良、袁方、李冬、于旺、赵崇凌、王启佳、佟雷、马锦 |
| 43 | 一种真空系统内应用的联轴节及其安装方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410675630.2 | 2024-05-29 | CN118548296A | 2024-08-27 | 张学良、袁方、李冬、于旺、赵崇凌、王启佳、佟雷、马锦 |
| 44 | 一种通过低温干式法制备二硫化钼粉末涂层的工艺 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410631368.1 | 2024-05-21 | CN118600409A | 2024-09-06 | 曲文超、王云、王光玉、李鹏明、周亚芹、麻方宇、郝昌龙 |
| 45 | 一种多级干式真空泵高温调节控制系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410621777.3 | 2024-05-20 | CN118532328A | 2024-08-23 | 郝昌龙、毕德龙、王冰冰、张晨阳、王光玉、孔祥玲 |
| 46 | 一种离子泵测试的智能自动化控制系统及控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410545819.X | 2024-05-06 | CN120909168A | 2025-11-07 | 杜向辉、张颖志、袁方、李政、叶琳琳、赵崇凌、王启佳、佟雷、马锦 |
| 47 | 一种用于腐蚀性气体腐蚀测试的低真空实验装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410501439.6 | 2024-04-25 | CN118566106A | 2024-08-30 | 王光玉、曲文超、李占东、王云、张军、秦柏林 |
| 48 | 一种干式真空泵的润滑结构 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410496767.1 | 2024-04-24 | CN118423280A | 2024-08-02 | 孔祥玲、杨帆、王云、刘云鹏、刘在行 |
| 49 | 一种应用于超高真空环境一体式水冷套 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202410115478.2 | 2024-01-29 | CN117646273B | 2024-04-02 | 雷震霖、毕永生、赵崇凌、黄成、王勇、陈春、果彬、王启佳、佟雷、张学锋 |
| 50 | 一种适用于超高真空的针阀驱动组件的使用方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202410051177.8 | 2024-01-15 | CN117570253B | 2024-04-19 | 张学锋、毕永生、雷震霖、王忠旭、赵崇凌、王启佳、佟雷、林秀青、朱龙来、王凯 |
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