晶合集成申请图形化光刻胶相关专利,图形化方法可提分辨率并降低光刻成本
创始人
2025-12-30 20:15:19
0

12月30日消息,国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“图形化方法及光刻胶结构”的专利。申请公布号为CN121237637A,申请号为CN202511784424.6,申请公布日期为2025年12月30日,申请日期为2025年12月1日,发明人赵志豪、李海峰、沈俊明,专利代理机构华进联合专利商标代理有限公司,专利代理师杨明莉,分类号H01L21/027、G03F1/76。

专利摘要显示,本申请涉及一种图形化方法及光刻胶结构,涉及半导体制造技术领域。该图形化方法包括:于衬底顶面形成第一图形化光刻胶层,第一图形化光刻胶层包括沿平行于衬底顶面的第一方向间隔排布的多个胶柱;胶柱的外侧壁包括沿第一方向朝向胶柱内凹陷的多个底切结构;形成覆盖多个胶柱的外表面且顶面高于多个胶柱顶面的第二初始光刻胶层;图形化第二初始光刻胶层,得到覆盖多个胶柱的外表面的第二光刻胶层,第二光刻胶层包括位于凹陷内的嵌入部。可以提高图形的分辨率,利用低成本的光刻胶层占据目标图形柱较大的体积分数,可以降低光刻材料的成本。

晶合集成成立于2015年5月19日,于2023年5月5日在上海证券交易所上市,注册地址和办公地址均涉及安徽省合肥市。它是国内知名的晶圆代工企业,专注12英寸晶圆代工,具备先进工艺与多元制程服务能力。

晶合集成主要从事12英寸晶圆代工业务,致力于研发并应用行业先进工艺,为客户提供多种制程节点、不同工艺平台的晶圆代工服务。公司所属申万行业为电子 - 半导体 - 集成电路制造,属于半导体、集成电路、芯片概念板块。

2025年三季度,晶合集成营业收入达81.3亿元,在行业7家公司中排名第3,与第一名中芯国际的495.1亿元、第二名华虹公司的125.83亿元有差距,行业平均数为121.23亿元,中位数是80.69亿元。净利润为3.95亿元,行业排名第4,第一名中芯国际57.7亿元,第二名赛微电子15.14亿元,行业平均数为8.25亿元,中位数为3.95亿元。

合肥晶合集成电路股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1电容器结构以及电容器结构的制造方法发明专利公布CN202511794295.92025-12-02CN121240471A2025-12-30井口学、牟田哲也
2背照式图像传感器制备方法及背照式图像传感器发明专利公布CN202511797762.32025-12-02CN121240571A2025-12-30陈维邦
3背照式图像传感器制备方法及背照式图像传感器发明专利公布CN202511797693.62025-12-02CN121240570A2025-12-30陈维邦
4图形化方法及光刻胶结构发明专利公布CN202511784424.62025-12-01CN121237637A2025-12-30赵志豪、李海峰、沈俊明
5用于制备金属硅化物的方法、半导体器件及其制备方法发明专利公布CN202511746998.42025-11-26CN121218668A2025-12-26方延、张新、郭廷晃
6半导体结构及其制备方法发明专利公布CN202511727063.12025-11-24CN121192052A2025-12-23王文智
7半导体结构及其制备方法发明专利公布CN202511727064.62025-11-24CN121192053A2025-12-23王文智
8一种浅沟槽隔离结构及其制备方法发明专利公布CN202511727118.92025-11-24CN121192054A2025-12-23王文智
9用于对晶圆进行失焦补偿的方法、半导体器件及相关产品发明专利公布CN202511715014.62025-11-21CN121187086A2025-12-23赵志豪、李海峰、沈俊明、古哲安
10半导体结构及其制备方法、高压MOS器件发明专利公布CN202511714324.62025-11-21CN121194489A2025-12-23马翼蕤、蒯照、王少奇
11背照式图像传感器制备方法及背照式图像传感器发明专利公布CN202511706458.32025-11-20CN121152344A2025-12-16陈维邦
12用于半导体结构的测试方法及测试装置发明专利公布CN202511712552.X2025-11-20CN121142286A2025-12-16田志锋
13嵌入式锗硅器件及其制备方法、电子设备发明专利公布CN202511704709.42025-11-20CN121171973A2025-12-19梁栋栋、张安、张盖、陈有德、张得亮
14一种光刻胶涂布方法发明专利公布CN202511705451.X2025-11-20CN121165399A2025-12-19张仁伟、张祥平
15一种半导体器件及其制备方法发明专利公布CN202511699262.62025-11-19CN121152289A2025-12-16杨少华、杨昱霖、沈娅、蔡马龙
16接触孔的清洗方法及清洗装置发明专利公布CN202511695222.42025-11-19CN121171880A2025-12-19许雨芩、杨昱霖
17接触插塞及其形成方法、半导体器件的形成方法发明专利公布CN202511695815.02025-11-19CN121171982A2025-12-19朱海龙、罗承先
18半导体结构的制备方法发明专利公布CN202511689963.12025-11-18CN121152288A2025-12-16张璐、朱鹏飞、高倩倩、邱爽、游奕廷
19背照式图像传感器制备方法及背照式图像传感器发明专利公布CN202511689280.62025-11-18CN121152343A2025-12-16陈维邦
20SRAM存储单元、SRAM器件及其制备方法发明专利公布CN202511676037.02025-11-17CN121126770A2025-12-12王文智、刘飞飞
21SRAM存储单元、静态随机存取存储器及其制备方法发明专利公布CN202511676034.72025-11-17CN121126769A2025-12-12王文智、刘飞飞
22一种校正光罩布局的方法发明专利公布CN202511676880.92025-11-17CN121142889A2025-12-16赵志豪、李海峰、沈俊明、古哲安
23半导体结构及其制造方法发明专利公布CN202511676224.92025-11-17CN121148992A2025-12-16赵志豪、李海峰、沈俊明
24半导体结构及其制作方法发明专利公布CN202511666098.92025-11-14CN121126858A2025-12-12刘苏涛
25晶圆曝光系统及其补偿方法发明专利公布CN202511666454.72025-11-14CN121115428A2025-12-12李海峰、张祥平、赵志豪
26半导体结构及半导体结构的制造方法发明专利公布CN202511666676.92025-11-14CN121123118A2025-12-12刘然、郑威、徐华超
27芯片失效类型的测试方法及测试电路发明专利公布CN202511673091.X2025-11-14CN121114737A2025-12-12郝永豪、储浩、张翼、孔祥炜、钟敏
28光刻胶的去除方法和去除装置以及光刻工艺的返工方法发明专利公布CN202511666449.62025-11-14CN121142926A2025-12-16赵志豪、李海峰、沈俊明、古哲安
29半导体器件及其制造方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511649809.12025-11-12CN121099689A2025-12-09朱海龙
30半导体结构及其形成方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511649237.72025-11-12CN121099688A2025-12-09运广涛、阮钢、苏圣哲、罗钦贤
31半导体器件及其制造方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511652165.12025-11-12CN121099701A2025-12-09刘凯、王维安
32半导体器件、浅沟槽隔离结构的清洗方法发明专利公布CN202511648328.92025-11-12CN121123011A2025-12-12刘苏涛、肖迪
33曝光辅助图形的确定方法、装置和计算机设备发明专利公布CN202511649076.12025-11-12CN121115427A2025-12-12刘秀梅、罗招龙
34构建三维损伤程度模型的方法、损伤程度评价方法及系统发明专利公布CN202511639568.22025-11-11CN121123052A2025-12-12王冉、林东亿、林祐丞、杨智强、遇鑫遥
35背照式图像传感器及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511635667.32025-11-10CN121099744A2025-12-09方晓宇、杨昱霖、郭育清、李万宝、郭宜婷
36背照式图像传感器的制造方法和背照式图像传感器发明专利实质审查的生效、公布CN202511635099.72025-11-10CN121099733A2025-12-09金文祥、陈义元、吴凯、郇小伟
37半导体结构及其制备方法、半导体器件发明专利实质审查的生效、公布CN202511632267.72025-11-10CN121099680A2025-12-09廖学海、明玉坤、邹鹏
38晶圆键合方法及晶圆键合结构发明专利实质审查的生效、公布CN202511633045.72025-11-10CN121096855A2025-12-09张燚
39半导体结构、半导体结构的制造方法及显示器件发明专利实质审查的生效、公布CN202511634358.42025-11-10CN121099847A2025-12-09谢荣源、马丽、陈信全、林滔天、葛成海
40掩膜图案的处理方法、掩膜图案的处理系统和掩膜发明专利实质审查的生效、公布CN202511632778.92025-11-10CN121091594A2025-12-09殷诗淇、罗招龙、王康
41半导体器件及其制备方法发明专利公布CN202511632272.82025-11-10CN121126856A2025-12-12李文超、林子荏、张旭、袁晓梅
42半导体结构制备方法及半导体结构发明专利公布CN202511632353.82025-11-10CN121126843A2025-12-12潘海燕、明玉坤、廖学海、遇鑫遥
43半导体结构及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511625543.72025-11-07CN121099693A2025-12-09朱会超、刘文彬、蔡富吉
44半导体器件及其形成方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511621739.92025-11-07CN121099687A2025-12-09叶家顺、曹飞
45图像传感器及其制造方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511628584.12025-11-07CN121099732A2025-12-09叶家顺、崔立加、王冉、余义祥
46芯片电池及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511612900.62025-11-06CN121057285A2025-12-02周成
47改善翘曲晶圆CDU的方法、曝光方法、半导体器件发明专利实质审查的生效、公布CN202511613303.52025-11-06CN121091615A2025-12-09马文斌、张祥平
48磊晶缺陷的分析方法及分析系统、可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511597831.62025-11-04CN121053139A2025-12-02张利强、林今焕、李建政
49多晶圆堆叠结构的处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511599123.62025-11-04CN121054478A2025-12-02周宇芬、郝小强、郑悦
50一种半导体器件的制作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511596104.82025-11-04CN121057325A2025-12-02饶续、宋明明、曹玉娟、马忠祥

风险提示:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI大模型基于第三方财汇数据库自动发布,任何在本文出现的信息(包括但不限于个股、评论、预测、图表、指标、理论、任何形式的表述等)均只作为参考,不构成个人投资建议。受限于第三方数据库质量等问题,我们无法对数据的真实性及完整性进行分辨或核验,因此本文内容可能出现不准确、不完整、误导性的内容或信息,具体以公司公告为准。如有疑问,请联系biz@staff.sina.com.cn。

相关内容

毕节八小开展庆元旦红歌比赛
12月31日,毕节八小开展以“红歌迎新年,童心向未来”为主题的20...
2026-01-01 11:57:54
国林科技并购凯涟捷实现纵向...
转自:中国证券报·中证网中证报中证网讯(王珞)上市公司国林科技20...
2026-01-01 11:57:49
别克MPV家族2025年销...
  炒股就看金麒麟分析师研报,权威,专业,及时,全面,助您挖掘潜力...
2026-01-01 11:57:45
上海国际邮轮旅游度假区跨年...
中新网上海1月1日电 (记者 李佳佳)岁聿云暮,烟火长明映新篇。2...
2026-01-01 11:57:41
新年慰问信
新年慰问信应急管理系统广大干部职工、消防救援队伍指战员及家属们:新...
2026-01-01 11:53:01
金正恩向海外作战部队致新年...
北京青年报2026-01-01 10:39:11据朝中社1月1日报...
2026-01-01 11:52:56
夜游网师园韵,同济大学打造...
(来源:上观新闻)12月31日,一场独具匠心的文化盛宴——“行走江...
2026-01-01 11:52:52
(进博故事)《世界开放报告...
中新网上海1月1日电(记者 缪璐)“我认为它取得了很好的进展,我期...
2026-01-01 11:52:47
“十项行动”看发展:党建赋...
转自:天津发布年终岁尾之际,自2025年12月22日起,中央广播电...
2026-01-01 11:48:19

热门资讯

毕节八小开展庆元旦红歌比赛 12月31日,毕节八小开展以“红歌迎新年,童心向未来”为主题的2025年庆元旦红歌比赛。比赛正式开始...
国林科技并购凯涟捷实现纵向整合... 转自:中国证券报·中证网中证报中证网讯(王珞)上市公司国林科技2025年12月31日晚间披露公告,公...
别克MPV家族2025年销量超...   炒股就看金麒麟分析师研报,权威,专业,及时,全面,助您挖掘潜力主题机会! (来源:IT之家)I...
上海国际邮轮旅游度假区跨年盛宴... 中新网上海1月1日电 (记者 李佳佳)岁聿云暮,烟火长明映新篇。2025年12月31日,上海新年第一...
新年慰问信 新年慰问信应急管理系统广大干部职工、消防救援队伍指战员及家属们:新元肇始,万象更新。值此2026年元...
金正恩向海外作战部队致新年贺电... 北京青年报2026-01-01 10:39:11据朝中社1月1日报道,朝鲜最高领导人金正恩于2025...
夜游网师园韵,同济大学打造“行... (来源:上观新闻)12月31日,一场独具匠心的文化盛宴——“行走江南园林·网师夜花园”跨年夜特别活动...
(进博故事)《世界开放报告》:... 中新网上海1月1日电(记者 缪璐)“我认为它取得了很好的进展,我期待着每年都能看到它,因为真的没有别...
“十项行动”看发展:党建赋能城... 转自:天津发布年终岁尾之际,自2025年12月22日起,中央广播电视总台天津总站聚焦天津在京津冀协同...
2026年国补第一单京东物流已... (来源:京东物流黑板报)今日起,2026年消费品以旧换新补贴正式落地,京东全面承接线上线下“国补”所...